国机集团研制国内首台全自动龙门式12英吋砂轮划片机

来源:等离子熔炼电源    发布时间:2024-04-02 14:04:37
近来,我国机械工业集团公司(简称国机集团)所属沈阳外表院 “12英寸IC专用芯片划片工艺配备研制


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  近来,我国机械工业集团公司(简称国机集团)所属沈阳外表院 “12英寸IC专用芯片划片工艺配备研制”通过了科技成果鉴定。 项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2m/310mm,主轴最高转速41000r/min。请求国家发明专利3项以上,实用新型专利4项以上,取得了一批具有自主知识产权的研究成果,填补了国内空白,全体技术水平到达世界领先水平,形成了相应技术规范和规范。项目的研制成功为进步我国IC(集成电路)配备的技术水平层次、进步国内外市场的竞争力和市场占有率,满意我国IC配备需求将起到重要的推动效果。

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